逆転の発想② 新画像形成方法の閃き 0 0レジスト厚:035μm~100μm(ポジ)・1μm~500μm(ネガ) ※ポリイミドやSU8等の永久レジストも対応可能 ※低粘度~高粘度(6000Pc)まで幅広く対応可能 ※その他、コーティングのみでも対応いたします。 (レジスト、PI、シリコーン樹脂、等) 対応インチ フォトレジスト 感光性材料には、ネガ型、ポジ型があり、用途に応じて使い分けられています。 一般的に半導体前工程では液体のフォトレジストが用いられますが、パッケージングやプリント基板では、ドライフィルムが用いられています。 製品分野
11 9694号 マイクロフォトリソグラフィ用の多階調の感光性ハードマスク Astamuse